旧龍野藩領榊村と門野村。矢野川の支流、榊川の流域に位置する。二つの村は明治11年に合併して榊村となる。榊村の枝郷として黒蔵村がある。

[由来]この地域には榊の木が多くあり、古来から室津の加茂神社の祭に神木の榊を供奉していたことから、榊村、この榊を持って出る出口にある村を門野と称するようになったという。

旧尼崎藩領釜出村。矢野川の最上流に位置し、龍野市菖蒲谷と境を接する。

旧尼崎藩領金坂村。矢野川にそそぐ金坂川沿いの小谷に立地する。

旧安志藩領能下村。矢野川の支流能下川沿い、相生市最北部にある集落。

秦河勝の愛犬を弔ったと伝えられる犬塚がある。

旧尼崎藩領中野村。集落は矢野川を挟んで両側に分布する。

旧尼崎藩領森村。矢野川が能下川と合流して直角に南に流れを変える狭隘部にある。旧矢野村総鎮守で磐座神社や、赤松則祐が新田義貞の軍を迎えて立て籠もった感状山城など史蹟が多い。

旧尼崎藩領瓜生村。1889年（明治22年）に誕生した旧矢野村の役場が置かれた。東所、西所の二つの隣保に分かれ、さらに東所北・南、西所北・南、鍛冶屋の五つの講中に分かれる。赤松氏の一族を供養したと伝えられ、室町時代につくられたと推定される十六羅漢などからなる瓜生羅漢石仏がある。

旧尼崎藩領上村。瓜生の東に隣接し、矢野川の対岸にも広がる。

旧安志藩領菅谷村。瓜生の南にあり、瓜生との境界には「土手」とよばれる石組みの盛り土がある。南縁に三濃山山王神社の鳥居が立っている。

旧龍野藩領二木村。東西に流れる二木川の小谷にあり、集落内を古山陽道が通る。

旧竜野藩領小河村。1702年(元禄15)の｢播磨国郷帳｣には小河村枝郷として東小河村の記載がある。矢野川の支流である小河川に沿って点在する集落のほかに，古山陽道に観音と呼ばれる集落がある。集落の南辺を県道姫路・上郡線が、小河川沿いに県道多賀・相生線が通る。

旧龍野藩領上土井村。矢野川支流の小河川沿いに立地し、南北に県道多賀・相生線が通る。

旧龍野藩領真広村にあたる。昭和29年以前は「さねひろ」と呼ばれていた。矢野川と二木川の合流点、県道姫路・上郡線と主要地方道相生・山崎線の交差する地点に位置する。

旧尼崎藩領下田村と安志藩領下頃村が明治11年に合併して下田村となり、明治22年に矢野村大字下田になる。